真空泵是通過(guò)機械、物理、化學(xué)等多種方法對被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件設備。真空泵的工作原理可以分為氣體捕集泵和氣體傳輸泵兩種類(lèi)型，真空泵常見(jiàn)抽取真空技術(shù)可分為機械法和物理法。

一、機械法

1、變容真空泵，是利用泵腔容積的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的。這種泵分往復式、旋轉式兩種。

2、動(dòng)量傳輸泵，它依靠高速旋轉的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續不斷地從泵的入口傳輸到出口。分子真空泵水蒸汽噴射泵、擴散泵屬于這一類(lèi)。

二、物理法

氣體捕集式真空泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵內表面上的真空泵，有以下幾種形式：

1、吸附泵。依靠具有大表面積的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來(lái)抽氣的一種捕集式真空泵。

2、吸氣劑泵。它是一種利用吸氣劑以化學(xué)方式捕獲氣體的真空泵。吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。

3、吸氣劑離子泵。它是使被電離的氣體通過(guò)電場(chǎng)或電磁場(chǎng)的作用吸附在吸氣材料的表面上，以達到抽氣的目的。它有如下兩種形式。

a、蒸發(fā)離子泵：泵內被電離的氣體吸附在以間斷或連續方式升華(或蒸發(fā))而覆在泵內壁的吸氣材料上，以實(shí)現抽氣的一種真空泵。

b、濺射離子泵：泵內被電離的氣體吸附在由陰極連續濺散出來(lái)的吸氣材料上以實(shí)現抽氣目的的一種真空泵。